特許
J-GLOBAL ID：200903063244986584

感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたポリベンゾオキサゾール膜、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品

発明者：
峯岸 知典

峯岸 知典 について

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岩下 健一

岩下 健一 について

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野北 里花

野北 里花 について


出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-117525
公開番号（公開出願番号）：特開2009-265520
出願日： 2008年04月28日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】低温でも良好な膜特性を持つ硬化膜が得られる感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたポリベンゾオキサゾール膜、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品を提供する。【解決手段】(a)一般式(1): 【化1】(式中、U, V, Wは2価の有機基を示し、U又はVの少なくとも一方が炭素数1〜30の脂肪族鎖状構造を含む基であり、Xは芳香環構造を含む2価の有機基であり、j及びkはそれぞれA構造単位及びB構造単位のモル分率を示し、j及びkの和は100モル%である。)で示される構造を有するポリベンゾオキサゾール前駆体の共重合体と、(b)感光剤と、(c)溶剤と、(d)加熱により架橋または重合し得る架橋剤と、を含有してなる感光性樹脂組成物を課題の感光性樹脂組成物として用いる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1):
IPC (3件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/40 ,  C08G 73/06
FI (3件)：
G03F7/023 ,  G03F7/40 501 ,  C08G73/06
Fターム (63件)：
2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J043PA04 ,  4J043PA05 ,  4J043PA08 ,  4J043PC065 ,  4J043QB15 ,  4J043QB33 ,  4J043QB34 ,  4J043QB52 ,  4J043RA06 ,  4J043RA52 ,  4J043SA02 ,  4J043SA06 ,  4J043SA44 ,  4J043SA47 ,  4J043SA49 ,  4J043SA54 ,  4J043SA61 ,  4J043SA71 ,  4J043SA81 ,  4J043SB03 ,  4J043SB04 ,  4J043TA12 ,  4J043TA26 ,  4J043TA35 ,  4J043TA43 ,  4J043TA51 ,  4J043TA68 ,  4J043TA71 ,  4J043TA72 ,  4J043TA74 ,  4J043TA78 ,  4J043TB03 ,  4J043TB04 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA262 ,  4J043UA56 ,  4J043VA022 ,  4J043VA061 ,  4J043XA19 ,  4J043ZA22 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特開昭49-115541号公報
  • 特開昭59-108031号公報
  • 特開昭59-219330号公報
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審査官引用 (5件)
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