特許
J-GLOBAL ID：200903023745577682

ネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

発明者：
峯岸 知典

峯岸 知典 について


出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369247
公開番号（公開出願番号）：特開2006-178059
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 感度や解像度が良好な耐熱性ネガ型感光性樹脂組成物、感度、解像度および耐熱性に優れ、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造方法、さらに、良好な形状と特性のパターンを有した信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】 ネガ型感光性樹脂組成物において酸の作用により架橋あるいは重合し得る架橋剤が、分子内に少なくとも一つのメチロール基あるいはアルコキシアルキル基を有する化合物からなる。酸の作用により架橋あるいは重合し得る架橋剤が、一般式(I)で表される化合物であると好ましい。(式中、Xは単結合又は1〜4価の有機基を示し、R1、R2は各々独立に水素または一価の有機基を示し、nは1〜4の整数であり、p及びqは各々独立に0〜4の整数である)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)耐熱性の高分子と、(b)活性光線の照射により酸を発生する化合物と、(c)酸の作用で架橋または重合し得る架橋剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、酸の作用により架橋あるいは重合し得る架橋剤が、分子内に少なくとも一つのメチロール基あるいはアルコキシアルキル基を有する化合物を含んでなるネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  C08K 5/13 ,  C08L 79/04 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/004 501 ,  C08K5/13 ,  C08L79/04 Z ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (20件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002CM021 ,  4J002CM041 ,  4J002EJ066 ,  4J002ET016 ,  4J002EU106 ,  4J002GP03
引用特許：
出願人引用 (31件)
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審査官引用 (2件)

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