透過位相物体の外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-292679
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125703
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】大きさが小さく散乱状態が微小な外観不良部分を識別可能な透過位相物体の外観検査装置を提供することである。【解決手段】外観検査装置が、透過位相物体である被検物に照明光を照射する光源と、被検物を撮影する撮影手段と、撮影手段が撮影した画像に基づいて前記被検物の外観不良を評価する画像処理部と、被検物に対する位置を調整可能に光源を保持する光源保持機構とを有し、光源保持機構は、被検物の外観不良部以外の部分を通過した照明光が前記撮影手段に入射せず、外観不良部に入射して外観不良で散乱した光が撮影手段に入射するように光源を保持する構成として、上記問題を解決した。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

透過位相物体である被検物に照明光を照射する光源と、前記被検物を撮影する撮影手段と、前記撮影手段が撮影した画像に基づいて前記被検物の外観不良を評価する画像処理部と、前記被検物に対する位置を調整可能に前記光源を保持する光源保持機構と、を有し、前記光源保持機構は、前記被検物の外観不良部以外の部分を通過した照明光が前記撮影手段に入射せず、前記外観不良部に入射して前記外観不良で散乱した光が前記撮影手段に入射するように前記光源を保持することを特徴とする、透過位相物体の外観検査装置。

IPC (2件)：

G01N21/84 , G01N21/958

FI (2件)：

G01N21/84 E , G01N21/958

Fターム (11件)：

2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB20 , 2G051BA01 , 2G051BB02 , 2G051BB05 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051DA05 , 2G051EA12

引用特許：

審査官引用 (9件)

照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-103309 出願人：リンテック株式会社
着色パターンの欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-263120 出願人：大日本印刷株式会社
透明体検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-338242 出願人：株式会社ヒューテック

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