特許
J-GLOBAL ID:200903063372823736

レーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-150874
公開番号(公開出願番号):特開2001-332793
出願日: 2000年05月23日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】 常にビーム特性の乱れを検知し、加工を良好に保つことの可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザ光(11)のビーム特性を検査するビーム特性検査装置(26)を備え、前記ビーム特性がビームプロファイル及びビームダイバージェンスのうち少なくとも1つであり、前記検査結果に基づき、レーザ光(11)のビーム特性を許容範囲内に戻すように制御するビーム特性制御手段(17,28,29)を備えたことを特徴とするレーザ装置であって、これによってレーザ光(11)を光源とした加工を良好に行なうことが可能となっている。
請求項(抜粋):
レーザ光(11)のビーム特性を検査するビーム特性検査装置(26)を備えたことを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件):
H01S 3/139 ,  H01S 3/225
FI (2件):
H01S 3/139 ,  H01S 3/223 E
Fターム (13件):
5F071AA06 ,  5F071HH02 ,  5F071JJ05 ,  5F072AA06 ,  5F072HH02 ,  5F072HH09 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK05 ,  5F072KK07 ,  5F072KK15 ,  5F072MM16 ,  5F072RR05 ,  5F072YY06
引用特許:
審査官引用 (3件)

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