特許
J-GLOBAL ID：200903063484613319
レーザ干渉変位計
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032270
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229626
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 ビート信号の波形の乱れに影響されず、正確な変位量を測定できるレーザ干渉変位計を提供する。【解決手段】 フォトディテクタ103は被加工物107とロッドレンズタンメン106a間の距離に応じた位相状態のビート信号を検出する。データサンプラ203とデコーダ204は、ビート信号の1周期内を状態分割数Nで分割してサンプリングしたデータをコード化する。カウンタ205は、コードからビート信号の状態を判別し、コードの状態番号iを加減算し、ビート信号の波数nを加減算する。計算部206はΔL=(λ0 /2n0 )×(n+i/N)(nm)により変位量を得る。データのコード化により、安定状態にある信号波形のみを選択して、変位量の測定に用いることができる。ここでn0 は106aと107aとの間の屈折率である。
請求項（抜粋）：
周波数変調したレーザ光を測定対象に照射し、照射面からの反射光と前記測定対象からの反射光を干渉させてビート信号を発生させ、前記照射面と前記測定対象との間の光路差に比例した前記ビート信号の位相変位を測定することにより距離情報を得るレーザ干渉変位計において、前記ビート信号の1周期内を一定のサンプリング周期で測定するための信号を発生するタイミングコントローラと、前記サンプリング周期で前記ビート信号をサンプリングするデータサンプラと、サンプリングしたデータの正負を判定しコード化するデコーダと、前記コード化されたデータからビート信号の状態を判別し、この状態の変化をカウントすることによりビート信号の位相変位を計測するカウンタとを設けたことを特徴とするレーザ干渉変位計。
FI (2件)：
G01B 11/00 F
, G01B 11/00 G
