特許

J-GLOBAL ID：200903063537832026

プラズマ発生装置

発明者： 佐藤 岳彦 ,  芳賀 洋一 ,  中谷 達行 ,  木邑 達男
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学 ,  トーヨーエイテック株式会社
代理人 (11件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-220400
公開番号（公開出願番号）：特開2008-047372
出願日： 2006年08月11日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：

【課題】任意の場所で確実にかつ簡便にプラズマを発生させる装置を提供する。【解決手段】絶縁体または誘電体により被覆されたワイヤ状の導電性部材からなる第1の電極30とワイヤ状の導電性部材からなる第2の電極60とを、板20の上に略平行に配置する。第1の電極30に電源40によって交流電圧またはパルス電圧を印加する。すると、第1の電極30の周りにプラズマが発生する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁体または誘電体により被覆されたワイヤ状の導電性部材を備えた第1の電極と、 ワイヤ状の導電性部材からなる第2の電極と、 前記第1の電極に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と を備え、 前記第1の電極は、前記第2の電極に対して略平行に配置された部分を有しており、 前記第1の電極のうち、少なくとも前記第2の電極に対して略平行に配置された前記部分がプラズマを発生させる、プラズマ発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  C23C 16/50 ,  A61L 2/14 ,  B01J 19/08

FI (4件)：

H05H1/24 ,  C23C16/50 ,  A61L2/14 ,  B01J19/08 E

Fターム (24件)：

4C058AA12 ,  4C058AA15 ,  4C058BB06 ,  4C058KK06 ,  4C058KK21 ,  4C058KK26 ,  4C058KK42 ,  4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075BA10 ,  4G075BC01 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EC21 ,  4G075ED20 ,  4G075EE07 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15 ,  4K030FA01 ,  4K030KA15 ,  4K030KA30

引用特許：

出願人引用 (5件)

• プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-379540   出願人：松下電器産業株式会社
• グロー放電プラズマ処理方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-133716   出願人：積水化学工業株式会社
• プラズマ殺菌装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-342223   出願人：株式会社東芝
• 管用プラズマ滅菌装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-010770   出願人：株式会社東芝
• 管用滅菌装置および滅菌方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-204879   出願人：株式会社東芝