特許
J-GLOBAL ID：200903063568501400
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-360291
公開番号（公開出願番号）：特開2005-128049
出願日： 2003年10月21日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れ、現像後のパターン側壁のラフネスを低減する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、酸解離性基含有樹脂が、(i)下記式(1)で表される化合物、または、(ii)下記式(1)で表される化合物と、ラジカル重合開始剤および下記式(2)で表されるジテルリド化合物から選ばれる少なくとも1種類以上の化合物との混合物、を用いて重合されたことを特徴とする。【化1】【選択図】 無
請求項（抜粋）：
アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、
前記酸解離性基含有樹脂は、(i)下記式(1)で表される化合物、または、(ii)下記式(1)で表される化合物と、ラジカル重合開始剤および下記式(2)で表されるジテルリド化合物から選ばれる少なくとも1種類以上の化合物との混合物、を用いて重合されたことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/039
, C08F4/72
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08F4/72
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB56
, 2H025FA17
, 4J015DA33
