特許
J-GLOBAL ID:200903063603537480
接続装置および製造装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西教 圭一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-140380
公開番号(公開出願番号):特開2003-332670
出願日: 2002年05月15日
公開日(公表日): 2003年11月21日
要約:
【要約】【課題】 ステムのリードへのプローブの当接機構の省スペース化を図る。【解決手段】 半導体素子を搭載すべきステム3のリード4への接続装置1は、リード4に当接させるべきプローブ7と、溝15を有する案内部材14を含む固定部8と、案内ピン33を有するホルダー13を含む当接部9と、溝16を有する外部案内部材11と、外部案内部材11を摺動させる駆動部12とを含む。プローブ3と固定部8と当接部9とは一体化されている。外部案内部材11の摺動に伴って、プローブ7を収納したホルダー13の案内ピン33が外部案内部材11の溝16内を移動し、案内ピン33の移動に伴ってホルダー13が固定部8の案内部材14の溝15内を移動するので、プローブ7が移動する。これによって、接続装置1を小型化および薄形化することができる。
請求項(抜粋):
半導体素子を搭載すべきステムのリードへの接続装置であって、ステムのリードに当接させるべきプローブと、ステムをクランプし、位置決めを行なう固定手段と、固定手段およびプローブと一体化されており、ステムのリードにプローブを当接させる当接手段とを含むことを特徴とする接続装置。
IPC (3件):
H01S 5/022
, G01R 31/26
, H01S 5/00
FI (4件):
H01S 5/022
, G01R 31/26 J
, G01R 31/26 Z
, H01S 5/00
Fターム (8件):
2G003AA06
, 2G003AG10
, 2G003AG11
, 2G003AG16
, 2G003AH00
, 5F073EA29
, 5F073FA30
, 5F073HA05
引用特許: