ウェーハ研磨方法及びウェーハ研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：荒船良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-374053
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179578
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの平坦度の向上がはかれる研磨方法及び研磨装置を提供する。【解決手段】ウェーハをウェーハ保持盤に接着して該ウェーハの被研磨面を研磨定盤上の研磨布に対し押圧、摺擦して研磨するにあたり、ウェーハの被接着面の中心を囲む全接着面積の少なくとも50%以上の領域内において該被接着面上の任意の点を含む近傍で該被接着面が凸面を形成するように該ウェーハの被研磨面で真空吸着保持し、ウェーハの被接着面の中心部からウェーハ保持盤に接着することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウェーハをウェーハ保持盤に接着して該ウェーハの被研磨面を研磨定盤上の研磨布に対し押圧、摺擦して研磨するにあたり、ウェーハの被接着面の中心を囲む全接着面積の少なくとも50%以上の領域内において該被接着面上の任意の点を含む近傍で該被接着面が凸面を形成するように該ウェーハの被研磨面で真空吸着保持し、ウェーハの被接着面の中心部からウェーハ保持盤に接着することを特徴とするウェーハ接着方法。

IPC (3件)：

B24B 1/00 , B24B 41/06 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 1/00 A , B24B 41/06 Z , H01L 21/304 622 H

Fターム (6件)：

3C034AA13 , 3C034BB73 , 3C049AA07 , 3C049AB04 , 3C049CA01 , 3C049CB01

引用特許：

審査官引用 (7件)

ウェーハの接着方法及び接着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-050916 出願人：不二越機械工業株式会社
特開平1-101386
特開昭64-010643

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