探針装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 坪井淳 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245811
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085321
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】ナノスケール構造を持つ試料の局所的電気伝導性を信頼性よく行う技術を提供すること。【解決手段】試料(20)の表面に対向配置される探針(10a)を備えたカンチレバー(10)を備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の周期で切り替えながら前記試料の測定を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の期間で切り替えながら前記試料の測定を行うことを特徴とする探針装置。

IPC (2件)：

G01N13/16 , G12B21/08

FI (2件)：

G01N13/16 C , G12B1/00 601D

引用特許：

審査官引用 (4件)

音波送受信装置及び音波送受信方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-315012 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, トヨタ自動車株式会社
音響インピーダンス測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-178861 出願人：オリンパス光学工業株式会社
位置決め装置および位置決め方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-019001 出願人：日産自動車株式会社

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