X線シアリング干渉計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：河宮治 , 石井久夫 , 竹内三喜夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-062614
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058279
出願日： 2005年03月07日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】X線光学素子の位置決め精度を緩和でき、可干渉性の低いX線源でもX線干渉を実現でき、一般用途への実用化が図られるX線シアリング干渉計を提供する。【解決手段】X線シアリング干渉計は、X線を分割するX線分割光学系10と、X線分割光学系10によって分割されたX線を干渉させるX線干渉光学系20などで構成され、X線分割光学系10とX線干渉光学系20との間には物体Wが配置され、X線分割光学系10は、間隔D1で配置された一対の人工格子11,12と、人工格子12からの回折X線のうち所望の回折X線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子13を含み、X線干渉光学系20は、間隔D2で配置された一対の人工格子21,22と、人工格子22からの回折X線のうち所望の回折X線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子23を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線を分割するためのX線分割光学系と、 X線分割光学系によって分割されたX線を干渉させるためのX線干渉光学系とを備え、 X線分割光学系とX線干渉光学系との間に配置された物体のX線位相差情報が得られるX線シアリング干渉計において、 X線分割光学系は、所定間隔で配置された第1人工格子および第2人工格子と、第2人工格子からの回折X線のうち所望の回折X線だけをブラッグ回折によって選択するための第1結晶格子とを含み、 X線干渉光学系は、所定間隔で配置された第3人工格子および第4人工格子と、第4人工格子からの回折X線のうち所望の回折X線だけをブラッグ回折によって選択するための第2結晶格子とを含むことを特徴とするX線シアリング干渉計。

IPC (4件)：

G01N 23/04 , A61B 6/00 , G01B 15/00 , G01N 23/20

FI (4件)：

G01N23/04 , A61B6/00 330Z , G01B15/00 A , G01N23/20

Fターム (20件)：

2F067AA52 , 2F067AA67 , 2F067CC19 , 2F067HH04 , 2F067JJ03 , 2F067KK11 , 2F067MM01 , 2F067QQ06 , 2F067RR26 , 2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001EA01 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001KA01 , 2G001LA01 , 4C093AA07 , 4C093CA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3502182号公報

審査官引用 (2件)

位相型X線CT装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-002048 出願人：株式会社日立製作所
非破壊検査測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058960 出願人：コニカ株式会社

引用文献：

審査官引用 (3件)

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