レーザマーキング方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-363698
公開番号（公開出願番号）：特開2004-200221
出願日： 2002年12月16日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】文字や図柄からなる識別コードを読み取る際にエラーを引き起こすことがなく、又、識別コード全体をマーキングする時間を短縮し得るレーザマーキング方法及び装置を提供する。【解決手段】レーザ発振器から出力されるレーザビームを、音響光学偏光器を用いて水平面又は鉛直面の少なくとも1平面上を走査させて時系列的にドットで構成した一次元又は二次元からなる任意文字や図柄を形成せしめた後、前記任意の文字や図柄をガルバノメータスキャナを用いて基板上を二次元に走査させて照射せしめることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から出力されるレーザビームを、音響光学偏光器を用いて水平面又は鉛直面の少なくとも1平面上を走査させて時系列的にドットで構成した一次元又は二次元からなる任意文字や図柄を形成せしめた後、前記任意の文字や図柄をガルバノメータスキャナを用いて基板上を二次元に走査させて照射せしめることを特徴とするレーザマーキング方法。

IPC (4件)：

H01L21/02 , B23K26/00 , B41J2/44 , H01L21/027

FI (4件)：

H01L21/02 A , B23K26/00 B , B41J3/00 Q , H01L21/30 514F

Fターム (9件)：

2C362BA17 , 2C362BA28 , 2C362BA86 , 2C362CB67 , 2C362DA03 , 4E068AB01 , 4E068CE03 , 4E068DA09 , 5F046AA16

引用特許：

審査官引用 (4件)

レーザマーキング方法及び同方法を実施するためのレーザマーカ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-366647 出願人：株式会社小松製作所
レーザビーム露光マーキング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-069198 出願人：株式会社ワイ・イー・データ
レーザマーカ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-147107 出願人：株式会社日立製作所

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