レーザビームによる識別コードのマーキング方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：小川信一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013746
公開番号（公開出願番号）：特開2003-217994
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】装置の大型化を招くことなく識別コードのマーキングを効率よく行い、生産性を向上するレーザビームによる識別コードのマーキング方法及び装置を提供する。【解決手段】被マーキング物品50を載置したステージ2と、該ステージ2の上方に配置したマーキングユニット1とを相対移動させながらマーキングユニットからレーザビームを被マーキング物品50上に照射し、複数の識別コード51aを相対移動方向に所定のピッチで複数列のマトリックス状にマーキングする方法において、1ユニットのマーキングユニット1が相対移動方向に1ピッチを移動する間に複数列の識別コード51aをマーキングするものである。

請求項（抜粋）：

被マーキング物品を載置したステージと、該ステージの上方に配置したマーキングユニットとを相対移動させながら前記マーキングユニットからレーザビームを前記被マーキング物品上に照射し、複数の識別コードを相対移動方向に所定のピッチで複数列のマトリックス状にマーキングする方法において、前記1ユニットのマーキングユニットが相対移動方向に1ピッチを移動する間に複数列の識別コードをマーキングするレーザビームによる識別コードのマーキング方法。

IPC (5件)：

H01L 21/02 , B23K 26/00 , B23K 26/08 , G02F 1/13 101 , B23K101:36

FI (5件)：

H01L 21/02 A , B23K 26/00 B , B23K 26/08 B , G02F 1/13 101 , B23K101:36

Fターム (11件)：

2H088FA24 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA18 , 2H088HA24 , 2H088HA28 , 2H088MA20 , 4E068AB01 , 4E068CA09 , 4E068CE02 , 4E068DA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351680 出願人：東レエンジニアリング株式会社
レーザ位置決め加工方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-234507 出願人：ティーディーケイ株式会社
特開昭61-005988

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