特許
J-GLOBAL ID：200903063875705650

焼結体及びその製造方法

発明者：
北川 高郎

北川 高郎 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-013080
公開番号（公開出願番号）：特開2005-206402
出願日： 2004年01月21日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】 ハロゲン系腐食性ガス及びこれらのプラズマに対する耐食性と導電性を兼ね備えた焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】焼結体は、金属イットリウム、炭素、窒化イットリウム、炭化イットリウムの群から選択された少なくとも1種と、酸化イットリウムとを含有してなる焼結体であって、前記金属イットリウムを0.5体積%以上かつ10体積%以下、前記酸化イットリウムを60体積%以上かつ99.5体積%以下、を含有する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
金属イットリウム、炭素、窒化イットリウム、炭化イットリウムの群から選択された少なくとも1種と、酸化イットリウムとを含有してなることを特徴とする焼結体。
IPC (4件)：
C04B35/50 ,  C22C1/05 ,  C22C29/12 ,  H01L21/3065
FI (5件)：
C04B35/50 ,  C22C1/05 J ,  C22C29/12 A ,  C22C29/12 B ,  H01L21/302 101G
Fターム (16件)：
4K018AA40 ,  4K018AB01 ,  4K018AC01 ,  4K018AD09 ,  4K018CA02 ,  4K018CA11 ,  4K018DA18 ,  4K018DA21 ,  4K018EA01 ,  4K018EA11 ,  4K018KA33 ,  4K018KA58 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)

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