露光装置及びこれを用いたデバイス生産方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-167376
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017718
出願日： 1995年07月03日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】高精度なデバイスを低コストで生産することができる露光装置の提供。【構成】回路パターンを表示する透過型液晶ディスプレイ2と、搭載するウエハ4とディスプレイ2とを相対的に移動させるウエハステージ9と、ディスプレイ2に表示されたパターンをウエハ4に投影結像する投影結像光学系3と、ディスプレイ2とウエハ4との相対的な移動に同期してディスプレイ2に表示するパターンを変化させる表示制御装置6とを有する。

請求項（抜粋）：

パターンを表示する表示手段と、ウエハを搭載して該ウエハと該表示手段とを相対的に移動させるステージと、該表示手段に表示されたパターンをウエハに投影する投影手段と、前記表示手段とウエハとの相対的な移動に同期して前記表示手段に表示するパターンを変化させる手段とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02F 1/13 505 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 519 , G02F 1/13 505 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 518

引用特許：

審査官引用 (8件)

パターニング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-211733 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
大面積光源用の光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-152079 出願人：クレオプロダクツインコーポレイテッド
露光方法及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-218910 出願人：株式会社ニコン

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