特許
J-GLOBAL ID：200903063889465767

面発光型レーザアレイ及びその製造方法

発明者：
吉川 隆士

吉川 隆士 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102493
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294873
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 特性が均一で波長が相互に異なる複数の面発光型レーザを共通の基板上に有する面発光レーザアレイを単純なプロセスで作製する。【解決手段】 面発光型レーザアレイ10は、下側DBR30と上側DBR32との間に配設されたAlxGa1-xAs(x=0.95)からなる3層の波長調整層17a、17b、17cを含む中間層31を有し、波長調整層17a,17b、17cの何れかに届く深さの異なる溝26、27、28を有する。この溝26、27、28を形成したウェハーを430度の水蒸気雰囲気中で酸化すると、溝内に露出した波長調整層17のみが酸化される。酸化した波長調整層の屈折率が変化し、共振器長が変化するため、異なる発振波長のレーザA1、A2、A3が単一の工程で得られる。3つの異なる波長で発振する面発光型レーザアレイが低コストで製造できる。
請求項（抜粋）：
発振波長が相互に異なる複数の垂直共振器型面発光レーザを有する面発光型レーザアレイにおいて、各垂直共振器型面発光レーザが夫々、一対の分散ブラッグ共振反射層及び該一対の分散ブラッグ共振反射層に垂直方向に挟まれた中間層を有し、前記分散ブラッグ反射層又は前記中間層が複数の波長調整層を含み、各垂直共振器型面発光レーザは、相互に幅が異なる、対応する溝に隣接しており、且つ、酸化した波長調整層の数がレーザ毎に異なることを特徴とする面発光型レーザアレイ。
Fターム (9件)：
5F073AA65 ,  5F073AA74 ,  5F073AA89 ,  5F073AB02 ,  5F073AB17 ,  5F073BA02 ,  5F073CA04 ,  5F073DA25 ,  5F073EA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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