特許
J-GLOBAL ID：200903063902143340

端部傷検査装置

発明者：
平本 和之

平本 和之 について

, 
神野 貴史

神野 貴史 について


出願人/特許権者：
株式会社レイテックス

株式会社レイテックス について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-091866
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287412
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：
【要約】【課題】 正反射光のような低次元の回折光を効果的に排除する一方、散乱回折光のような高次元の回折光を遮ることなく光検出器において検出する。【解決手段】 楕円鏡2と、その第1焦点3位置近傍に配置した被検査端部4に向けてコヒーレント光を照射する光源5と、光源5から照射され被検査端部4において反射された光のうち、低次元の回折光を遮光する遮光手段6と、楕円鏡2の第2焦点7位置に配置した光検出器8とを備え、遮光手段6が、低次元の回折光が到達する楕円鏡2の鏡面に配置された光吸収部材により構成されている端部傷検査装置1を提供する。
請求項（抜粋）：
楕円鏡と、該楕円鏡の第1焦点位置近傍に配置した被検査端部に向けてコヒーレント光を照射する光源と、該光源から照射され、前記被検査端部において反射された光のうち、低次元の回折光を遮光する遮光手段と、前記楕円鏡の第2焦点位置に配置した光検出器とを備え、前記遮光手段が、前記低次元の回折光が到達する前記楕円鏡の鏡面に配置された光吸収部材により構成されている端部傷検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/956
FI (2件)：
G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A
Fターム (22件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL11 ,  2F065LL28 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB11 ,  2G051CA01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 端部欠陥検査方法とその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-104202   出願人：住友シチックス株式会社, 株式会社レイテックス
  • 半導体ウエハ検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-260201   出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社
  • 表面欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215472   出願人：昭和アルミニウム株式会社

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