特許
J-GLOBAL ID:200903064236629663
磁気検出方法およびその装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-149589
公開番号(公開出願番号):特開2008-304222
出願日: 2007年06月05日
公開日(公表日): 2008年12月18日
要約:
【課題】実装ズレがあった場合に磁気検出の誤差を低減する、2次元平面上での磁気検出方法およびその装置を提供すること。【解決手段】本発明に係る磁気検出方法の実施形態では、x軸上の1対のホール素子301、302の出力信号から算出される検出信号を、磁石のx座標の関数として直線補間して、傾きa、切片bを求める。次に、y軸上の1対のホール素子303、304の出力信号から算出される検出信号を、磁石のx座標の関数として直線補間して、傾きc、切片dを求める。次に、1対のホール素子301、302の出力信号から算出される検出信号を、磁石のy座標の関数として直線補間して、傾きe、切片fを求める。次に、1対のホール素子303、304の出力信号から算出される検出信号を、磁石のy座標の関数として直線補間して、傾きg、切片hを求める。これらのパラメータを用いて、予め定めた数式により磁石の検出位置を算出して磁気検出を行う。【選択図】図4
請求項(抜粋):
第1および第2の1対の磁気センサがそれぞれ配置された第1の座標軸(v軸)および第2の座標軸(w軸)により定まる2次元平面に平行な平面上での、磁石の位置を検出する磁気検出方法であって、前記磁石が前記2次元平面に平行な平面上の位置(v,w)にあるときに、
前記第1の1対の磁気センサの出力信号から第1の検出信号を算出する第1の検出信号算出ステップと、
前記第2の1対の磁気センサの出力信号から第2の検出信号を算出する第2の検出信号算出ステップと、
前記第1の1対の磁気センサの前記第1の座標軸に対する配置誤差を、前記第2の検出信号を用いた関数として近似し、前記第2の1対の磁気センサの前記第2の座標軸に対する配置誤差を、前記第1の検出信号を用いた関数として近似して、前記磁石の位置(v,w)を算出する位置算出ステップと
を含むことを特徴とする磁気検出方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B7/00 102M
, G01R33/06 H
Fターム (17件):
2F063AA03
, 2F063CA40
, 2F063CB12
, 2F063CC05
, 2F063DA01
, 2F063DD05
, 2F063GA52
, 2F063LA21
, 2F063LA22
, 2F063LA23
, 2F063LA24
, 2F063LA25
, 2G017AA02
, 2G017AD53
, 2G017BA05
, 2G017BA15
, 2G017CB02
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (9件)
-
位置検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-147314
出願人:コニカミノルタフォトイメージング株式会社
-
アライメント方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-264657
出願人:株式会社ニコン
-
特開平4-152279
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