レーザ加工方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-097725
公開番号（公開出願番号）：特開2003-010991
出願日： 2001年09月13日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】加工対象物の表面に溶融や切断予定ラインから外れた割れが生じることなく、加工対象物を切断することができるレーザ加工方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るレーザ加工方法は、加工対象物1の内部に集光点Pを合わせてレーザ光Lを照射し、加工対象物1の切断予定ライン5に沿って加工対象物1の内部に、切断予定ライン5方向の長さが最大の長さとなる改質スポットを複数形成することにより改質領域を形成し、加工対象物1を切断する工程を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

加工対象物の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、前記加工対象物の切断予定ラインに沿って前記加工対象物の内部に、前記切断予定ライン方向の長さが最大の長さとなる改質スポットを複数形成することにより改質領域を形成し、前記加工対象物を切断する工程を備える、レーザ加工方法。

IPC (6件)：

B23K 26/00 320 , B23K 26/00 , B28D 5/00 , C03B 33/09 , H01L 21/301 , B23K101:40

FI (6件)：

B23K 26/00 320 E , B23K 26/00 D , B28D 5/00 Z , C03B 33/09 , B23K101:40 , H01L 21/78 B

Fターム (16件)：

3C069AA03 , 3C069BA08 , 3C069CA03 , 3C069CA11 , 3C069EA02 , 3C069EA05 , 4E068AA01 , 4E068AD00 , 4E068AE01 , 4E068CA02 , 4E068CA11 , 4E068CD14 , 4E068DA11 , 4E068DB13 , 4G015FA06 , 4G015FB01

引用特許：

出願人引用 (6件)

レーザ加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-207559 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特許第3722731号
ガラス物体に破断点を形成する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-177630 出願人：ショットロールグラスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツンク

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審査官引用 (2件)

レーザ加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-207559 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特許第3722731号

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