有機物蒸着装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 伊藤正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-239881
公開番号（公開出願番号）：特開2006-063447
出願日： 2005年08月22日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：

【課題】本発明は、基板をほぼ垂直で起立した状態で有機物を蒸着して有機薄膜を形成して大型基板に適用可能で、かつ、均一な厚さの有機薄膜を形成することができる有機物蒸着装置を提供するためのものである。【解決手段】本発明の有機物蒸着装置は胴体を成し、基板を地面に対し、70 ゚ないし110 ゚の角度を維持するようにするチャンバと、基板上に蒸着する有機物を受け入れる少なくとも一つの有機物格納所からなる有機物格納部と、基板上に蒸着する有機物を噴射する有機物噴射ノズル部と、有機物噴射ノズル部と有機物格納部とを連結させる連結ラインと、有機物格納部、有機物噴射ノズル部及び連結ライン中の少なくとも有機物噴射ノズルを垂直方向に移動させることができる移送装置を備えてなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を地面に対し、70 ゚ないし110 ゚の角度を維持するようにする胴体を成すチャンバと、有機物格納部、有機物誘導路、加熱ヒータ、内部熱反射板、外部冷却板及び有機物噴射ノズルからなり、前記基板上に有機物を蒸着して有機薄膜を形成するための有機物蒸着源と、前記有機物蒸着源を垂直方向に移動させる有機物蒸着源移送装置と、を備えることを特徴とする有機物蒸着装置。

IPC (5件)：

C23C 14/24 , H05B 33/10 , G02F 1/133 , H01L 21/363 , H01L 51/50

FI (8件)：

C23C14/24 D , H05B33/10 , C23C14/24 A , G02F1/1333 500 , G02F1/1333 505 , G02F1/1337 520 , H01L21/363 , H05B33/14 A

Fターム (28件)：

2H090HC01 , 2H090HC05 , 2H090HC10 , 2H090HC14 , 2H090HC16 , 2H090HC18 , 2H090HD01 , 2H090HD11 , 2H090JC03 , 2H090JC06 , 2H090JC07 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB15 , 4K029HA01 , 5F103AA01 , 5F103BB12 , 5F103BB16 , 5F103DD25 , 5F103HH04 , 5F103LL01 , 5F103RR03 , 5F103RR06

引用特許：

審査官引用 (4件)

有機膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-154101 出願人：ソニー株式会社
蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-196348 出願人：トッキ株式会社
薄膜堆積用分子線源セル
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-180283 出願人：株式会社エイコー・エンジニアリング

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