特許

J-GLOBAL ID：200903064318181385

耐摩耗性被膜

発明者： 織田 一彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 萩原 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-324596
公開番号（公開出願番号）：特開平11-158606
出願日： 1997年11月26日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】 耐摩耗性、耐久性に優れた窒化チタン、炭化チタン、炭窒化チタン被膜を提供する。【解決手段】 気相合成法により形成された窒化チタン膜、炭化チタン膜又は炭窒化チタン膜において、基板表面と平行な(200)面と(111)面からのX線回折線強度比I(200)/I(111)がそれぞれ5以上、4以上又は4以上であることを特徴とする耐摩耗性被膜。

請求項（抜粋）：

気相合成法により形成された窒化チタン膜において、基板表面と平行な(200)面と(111)面からのX線回折線強度比I(200)/I(111)が5以上であることを特徴とする耐摩耗性被膜。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  C01B 21/076 ,  C01B 31/30

FI (5件)：

C23C 14/06 A ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 H ,  C01B 21/076 B ,  C01B 31/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-333561
  
• イオン窒化〜セラミツクスコーテイング連続処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-334426   出願人：住友電気工業株式会社
• 反応性スパッタ装置および反応性スパッタ方法ならびに反応性蒸着装置および反応性蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-099952   出願人：ティーディーケイ株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• プラズマCVD法によるTiCN膜コーティング