露光用フッ素分子レーザシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398815
公開番号（公開出願番号）：特開2003-198020
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 2ステージレーザ方式の露光用フッ素分子レーザシステムにおいて、発振段レーザの中心波長と増幅段レーザの中心波長とを合わせてスペクトル純度が小さく線幅の狭いレーザビームを発振させる。【解決手段】発振段レーザ10と増幅段レーザ20とからなる2ステージ方式の露光用フッ素分子レーザシステムであって、発振段レーザ10から放出されるレーザビームの中心波長と、増幅段レーザ20を単独でレーザ発振させた場合に増幅段レーザから放出されるレーザビームの中心波長とを比較して、両波長を略一致させるように構成した露光用フッ素分子レーザシステム。

請求項（抜粋）：

発振段レーザと増幅段レーザとからなる2ステージ方式の露光用フッ素分子レーザシステムであって、発振段レーザから放出されるレーザビームの中心波長と、増幅段レーザを単独でレーザ発振させた場合に増幅段レーザから放出されるレーザビームの中心波長とを比較して、両波長を略一致させるように構成したことを特徴とする露光用フッ素分子レーザシステム。

IPC (4件)：

H01S 3/131 , G03F 7/20 502 , H01L 21/027 , H01S 3/23

FI (5件)：

H01S 3/131 , G03F 7/20 502 , H01S 3/23 , H01L 21/30 527 , H01L 21/30 515 B

Fターム (19件)：

2H097AA03 , 2H097BA10 , 2H097BB02 , 2H097CA13 , 2H097LA10 , 5F046CA04 , 5F046CB22 , 5F046DA01 , 5F072AA04 , 5F072JJ02 , 5F072JJ04 , 5F072JJ13 , 5F072KK06 , 5F072KK07 , 5F072KK08 , 5F072KK09 , 5F072KK15 , 5F072RR05 , 5F072YY09

引用特許：

審査官引用 (5件)

狭帯域化レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-154954 出願人：株式会社小松製作所
波長制御を有する注入シード方式F2レーザ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-580451 出願人：サイマー,インコーポレイテッド
特開平4-028278

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