特許
J-GLOBAL ID：200903064375299163

アライメントマーク、荷電粒子線露光装置用レチクル及び荷電粒子線露光方法

発明者：
宇田川 仁

宇田川 仁 について

, 
平柳 徳行

平柳 徳行 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-208656
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022961
出願日： 2001年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 信号強度の変化が大きく、位置検出の精度を向上させることができるアライメントマークを提供することを目的とする。【解決手段】 荷電粒子線露光装置での光学アライメントに用いられる、段差パターンで形成されるアライメントマークであって、 前記段差パターンは、複数の段差パターンに分割されていることを特徴とするアライメントマークとした。また、前記段差パターンは、所定の間隔で配列された複数のラインパターンで構成されていることを特徴とするアライメントマークとした。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線露光装置での光学アライメントに用いられる、段差パターンで形成されるアライメントマークであって、前記段差パターンは、複数の段差パターンに分割されていることを特徴とするアライメントマーク。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 1/16 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00
FI (6件)：
G03F 1/08 N ,  G03F 1/16 B ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 541 K ,  H01L 21/30 541 S
Fターム (11件)：
2H095BA08 ,  2H095BE03 ,  2H097CA16 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097LA10 ,  5F056AA06 ,  5F056AA22 ,  5F056BD04 ,  5F056CC08 ,  5F056FA06
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM