基板移載装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205354
公開番号（公開出願番号）：特開2002-019959
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】大型の基板を高速で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、更に、カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくでき、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる基板移載装置を提供する。【解決手段】搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド8と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア9とを備える。移載ハンド8は、搬入位置の基板の取出方向Xに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されている。また中間水平コンベア9は、中間位置の同一高さで移載ハンド8との干渉を避けるために、上下に昇降可能に、或は幅方向に退避可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

水平に支持された平板状の基板(1)を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド(8)と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる中間水平コンベア(9)と、中間位置で中間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間基板受け(11)とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Xに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上部で昇降可能であり、中間基板受けは移載ハンド及び中間水平コンベアと、上下に交叉可能に構成されている、ことを特徴とする基板移載装置。

IPC (2件)：

B65G 49/06 , H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/06 Z , H01L 21/68 A

Fターム (9件)：

5F031CA05 , 5F031FA11 , 5F031FA13 , 5F031GA02 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA53 , 5F031PA18 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (5件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-303690 出願人：株式会社東芝
基板移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-027510 出願人：石川島播磨重工業株式会社
基板搬送装置のアーム機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-243511 出願人：株式会社ミクロ技術研究所, 株式会社金堂精密

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審査官引用 (5件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-303690 出願人：株式会社東芝
基板移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-027510 出願人：石川島播磨重工業株式会社
基板搬送装置のアーム機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-243511 出願人：株式会社ミクロ技術研究所, 株式会社金堂精密

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