特許
J-GLOBAL ID：200903064550063577

形状可変鏡及び形状可変鏡を用いるレーザ加工装置

発明者：
小林 信高

小林 信高 について

, 
竹野 祥瑞

竹野 祥瑞 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-371168
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171703
出願日： 2005年12月23日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】 多数の駆動素子を持つ形状可変鏡は自由度が高いが、構造が複雑である。【解決手段】 片側に反射面1Aを有する反射鏡1と、反射鏡1の裏面1Bに2箇所で固定された第1軸部材4と、反射鏡1の裏面1Bに固定された2本の足5Bを有し第1軸部材4を跨ぐ第2軸部材5と、第2軸部材5と第1軸部材4の間の距離を変化させる距離変更機構2とを備え、第1軸部材4を固定する箇所を結ぶ線分と第2軸部材5の足5Bを固定する箇所を結ぶ線分とが交差することを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
片側に反射面を有する反射鏡と、該反射鏡の裏面に2箇所で固定された第1軸部材と、前記反射鏡の裏面に固定された2本の足を有し前記第1軸部材を跨ぐ第2軸部材と、該第2軸部材と前記第1軸部材の間の距離を変化させる距離変更機構とを備え、前記第1軸部材を固定する箇所を結ぶ線分と前記第2軸部材の前記足を固定する箇所を結ぶ線分とが交差することを特徴とする形状可変鏡。
IPC (1件)：
G02B 5/10
FI (1件)：
G02B5/10 B
Fターム (3件)：
2H042DD13 ,  2H042DD14 ,  2H042DE07
引用特許：
出願人引用 (4件)
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