走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-148929
公開番号（公開出願番号）：特開2006-091002
出願日： 2005年05月23日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】限られたスペースに配置可能な小型の振動子で、カンチレバーに大きな振幅を与え、液体中などの粘性抵抗の高い環境下でも安定的に動作するカンチレバーホルダを有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダの固定部5にカンチレバー6のカンチレバー基部6bを固定し、固定部5に振動子4を取付け、カンチレバーの長手方向に沿って探針6aに近い側を前記固定部の前側、支持部6bに近い側を後側と規定した場合に、カンチレバーホルダの固定部の前側と後側を振動子4によりサンプル表面と垂直な面内で互いに逆方向に変位させて液中でカンチレバー6を振動させるようにした。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

先端に探針を有するカンチレバーと、該カンチレバーの基部を固定するためのカンチレバー固定部と、前記カンチレバー固定部に固定され、かつ、前記カンチレバー固定部を介して前記カンチレバーを振動させるための振動子と、前記カンチレバー固定部と前記振動子を保持するベースブロックとからなる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダであって、前記探針の先端をサンプル表面に対向させて配置し、前記カンチレバーの基部上で、前記カンチレバーの長軸に略直交し、かつ前記サンプル表面と平行な方向に回転中心軸を設け、前記振動子により前記カンチレバーの基部を加振して、前記回転中心軸を中心に前記カンチレバーの基部を揺動させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ。

IPC (1件)：

G01N 13/10

FI (1件)：

G01N13/10 A

引用特許：

出願人引用 (8件)

特許第3266267号公報(第13頁、図3)
特許第2936311号公報(第13頁、図1)
カンチレバ加振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-212715 出願人：日本電子株式会社

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審査官引用 (6件)

カンチレバ加振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-212715 出願人：日本電子株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-148117 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
カンチレバーチップホルダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-309419 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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