特許
J-GLOBAL ID：200903064639052323
サーバ装置、製造装置、群管理システム、情報処理方法、及びプログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 英和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-204110
公開番号（公開出願番号）：特開2008-140369
出願日： 2007年08月06日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】サーバ装置から被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置への適切なバージョンアップ情報の送信を行う。【解決手段】サーバ装置20は、製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付部21と、製造装置の状態に関する情報である状態情報が記憶される状態情報記憶部23と、バージョンアップ情報を製造装置に送信するかどうかを、状態情報を用いて判断する送信判断部26と、バージョンアップ情報を送信すると送信判断部26が判断した製造装置に、バージョンアップ情報を送信する送信部29と、を備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付部と、
前記製造装置の状態に関する情報であり、前記製造装置がプロセス中であるかどうかに関する情報を含む情報である状態情報が記憶される状態情報記憶部と、
前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中であることが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中でないことが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信すると判断する送信判断部と、
前記バージョンアップ情報を送信すると前記送信判断部が判断した製造装置に、前記バージョンアップ情報を送信する送信部と、を備えたサーバ装置。
IPC (3件)：
G06F 9/445
, G06F 11/00
, G05B 19/418
G06F9/06 610Q
, G06F9/06 630C
, G05B19/418 Z
3C100AA68
, 3C100BB40
, 3C100EE06
, 5B176AC03
, 5B176AC09
, 5B176BB02
, 5B176BB04
, 5B176BB06
, 5B176EA17
, 5B176EA18
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
