反射防止膜及び反射防止膜を有する光学素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高石橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-174481
公開番号（公開出願番号）：特開2005-352303
出願日： 2004年06月11日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】大きな入射角度の光に対しても優れた反射防止特性を有する反射防止膜及びかかる反射防止膜を有する光学素子を提供する。【解決手段】基材1の表面11に形成され、複数の層からなる反射防止膜2であって、基材1及び各層の屈折率は基材1から順に小さくなっており、各層とその隣の層及び基材1とそれに接触する層21との屈折率差が0.02〜0.2であり、各層の物理層厚が15〜200 nmであり、各層のうち入射媒質側に形成された少なくとも2層は(a) 多孔質層であって、(b) 異なる空隙率を有する反射防止膜、及びかかる反射防止膜を有する光学素子。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材の表面に形成され、複数の層からなる反射防止膜であって、前記基材及び各層の屈折率は前記基材から順に小さくなっており、前記層とその隣の層及び前記基材とそれに接触する層との屈折率差が0.02〜0.2であり、各層の物理層厚が15〜200 nmであり、各層のうち入射媒質側に形成された少なくとも2層は(a) 多孔質層であって、(b) 異なる空隙率を有することを特徴とする反射防止膜。

IPC (3件)：

G02B1/11 , B32B7/02 , C03C17/34

FI (3件)：

G02B1/10 A , B32B7/02 103 , C03C17/34 Z

Fターム (61件)：

2K009AA09 , 2K009AA10 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009CC09 , 2K009CC24 , 2K009CC26 , 2K009CC33 , 2K009CC35 , 2K009CC42 , 2K009DD02 , 2K009DD03 , 2K009DD04 , 2K009DD05 , 2K009DD06 , 2K009DD07 , 4F100AA20E , 4F100AA21B , 4F100AH06C , 4F100AK17D , 4F100AK25B , 4F100AL01D , 4F100AT00A , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10E , 4F100BA26 , 4F100CC00B , 4F100CC00D , 4F100EH46 , 4F100EJ54 , 4F100GB41 , 4F100JK12C , 4F100JN06 , 4F100JN18B , 4F100JN18C , 4F100JN18D , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4F100YY00D , 4G059AA11 , 4G059AC04 , 4G059EA01 , 4G059EA05 , 4G059EA09 , 4G059EB05 , 4G059FA11 , 4G059FA15 , 4G059FA17 , 4G059FA21 , 4G059FA22 , 4G059FA28 , 4G059FA29 , 4G059FB03 , 4G059GA01 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12 , 4G059GA16

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平9-335909号公報

審査官引用 (6件)

光透過シート、これを用いた発光装置、及び、光透過シートの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-314766 出願人：松下電工株式会社
反射防止膜の成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-152848 出願人：オリンパス光学工業株式会社
容易にきれいになるコーティング
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-591406 出願人：カール-ツァイス-スティフツング

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