ダイシング装置及びウェーハ検査システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-353131
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186115
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】ダイシング装置でダイシングした後のウェーハの抜き取り検査において、オペレータの手作業に起因するウェーハの汚染やチップの破損等を未然に防止できるようにした、ダイシング装置及びウェーハ検査システムを提供する。【解決手段】半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置において、このダイシング装置にはダイシング後のウェーハの内、カーフチェック等のダイシング状態を検査するための適宜のウェーハを収容する検査用ウェーハ収容領域が設けられる。例えばダイシング前のウェーハを収容する第1のカセットと、検査用ウェーハを収容する検査用ウェーハ収容領域としての第2のカセットとを含む。ダイシング装置から検査用ウェーハを収容した第2のカセットを検査工程へ搬送し検査を遂行する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置において、このダイシング装置にはダイシング後のウェーハの内、カーフチェック等のダイシング状態を検査するための適宜のウェーハを収容する検査用ウェーハ収容領域が設けられているダイシング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , H01L 21/66

FI (3件)：

H01L 21/78 R , H01L 21/66 J , H01L 21/78 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

フルオートダイサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-341895 出願人：関西日本電気株式会社
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-115511 出願人：セイコー精機株式会社
特開昭64-048431

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