チオール基含有感紫外線化合物および、その用途

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：酒井一 , 蔵合正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-118081
公開番号（公開出願番号）：特開2009-073809
出願日： 2008年04月30日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】紫外線照射により接着性を発揮する等の作用を示す感紫外線化合物、該化合物を用いた、金属薄膜と熱可塑性高分子との接着性に優れたナノインプリント用接着剤、微細な金属薄膜パターンを有する基板及びその製造方法を提供すること。【解決手段】感紫外線化合物は、式(I)で示される。接着剤は、該化合物を含み、基板は、0.01μm〜10μmの線幅の金属薄膜パターンを有し、ワイヤーグリッド偏光板、回折格子、電子デバイス用金属配線基板等に有用である。(R1〜R6の特定の基が-X-(CH2)m-SH(XはO、OCO、COO、NH又はNHCO、mは1〜20)であり、残りの基が、水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、又は酸素原子あるいは窒素原子で連結された炭素数1〜6の炭化水素基)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で示される感紫外線化合物。

IPC (7件)：

C07C 323/12 , H01L 21/027 , C07C 323/52 , C07C 323/25 , C09J 4/00 , C09J 201/00 , H05K 3/06

FI (9件)：

C07C323/12 , H01L21/30 502D , H01L21/30 563 , C07C323/52 , C07C323/25 , C09J4/00 , C09J201/00 , H05K3/06 B , H05K3/06 H

Fターム (34件)：

4H006AA01 , 4H006AB99 , 4H006TA04 , 4H006TB32 , 4H006TB52 , 4J040DB031 , 4J040DC021 , 4J040DF021 , 4J040EL021 , 4J040FA011 , 4J040FA321 , 4J040JA02 , 4J040JB08 , 4J040LA06 , 4J040MA02 , 4J040MA10 , 4J040NA19 , 4J040NA20 , 4J040PA32 , 5E339AB01 , 5E339AB05 , 5E339AB06 , 5E339AD01 , 5E339BC01 , 5E339BE13 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE19 , 5E339CF20 , 5E339CG04 , 5E339GG10 , 5F046AA28 , 5F046HA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5772905号明細書
インプリント加工用金型およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-150292 出願人：ダイキン工業株式会社

審査官引用 (3件)

チオール化合物およびそれを用いた感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-309592 出願人：昭和電工株式会社
界誘導圧力インプリント・リソグラフィの方法および装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-507045 出願人：チョウ,スティーヴン,ワイ., ツァン,ウエイ
インプリント加工用金型およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-150292 出願人：ダイキン工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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