特許
J-GLOBAL ID：200903064916068968

基板処理装置

発明者：
前川 直嗣

前川 直嗣 について

, 
大橋 泰彦

大橋 泰彦 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248185
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060002
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：
【要約】【課題】 処理部や搬送機構での基板の処理や搬送において空きによる無駄時間を低減させて基板を効率良く処理することができる基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 未処理あるいは処理済の複数枚の基板Wを収納したキャリアCの側部を把持して2個分のキャリアCを搬送する把持部4bが設けられており、キャリア搬送機構4は、この把持部4bを備えることでキャリアCを2個同時に搬送するように構成している。その結果、各処理部13〜15や搬送機構での基板Wの処理や搬送において空きによる無駄時間を低減させて基板Wを効率良く処理することができる。
請求項（抜粋）：
複数個の処理部と未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入する投入部と処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを払い出す払出部とを備え、各々の前記処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置であって、未処理または処理済の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを複数個同時に搬送する第1のキャリア搬送機構と、投入時には未処理の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送し、前記キャリアから前記基板を取り出し、払出時には処理済の基板を前記キャリアに収納し、複数枚の前記基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する第2のキャリア搬送機構と、未処理または処理済の基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記第1のキャリア搬送機構は、投入時には未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを前記投入部から前記第2のキャリア搬送機構に受け渡し、払出時には処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを前記第2のキャリア搬送機構から前記払出部に受け渡し、前記第2のキャリア搬送機構は、投入時には前記第1のキャリア搬送機構から受け取ったキャリアから未処理の基板を取り出し、その基板を前記基板搬送機構に受け渡し、払出時には前記基板搬送機構から受け取った処理済の基板をキャリアに収納し、そのキャリアを前記第1のキャリア搬送機構に受け渡し、前記基板搬送機構は、投入時には未処理の基板を前記第2のキャリア搬送機構から最初に基板処理を行う処理部に受け渡し、基板を処理部間同士で受け渡し、払出時には最後に基板処理を行った処理部から処理済の基板を前記第2のキャリア搬送機構に受け渡すことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B08B 3/04 Z ,  H01L 21/306 J
Fターム (33件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201BB02 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3B201CC12 ,  3B201CC15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA14 ,  5F031FA21 ,  5F031FA24 ,  5F031GA12 ,  5F031GA18 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA09 ,  5F031MA23 ,  5F031PA02 ,  5F031PA30 ,  5F043DD23 ,  5F043DD30 ,  5F043EE35 ,  5F043EE36 ,  5F043GG10
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-066767   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板ウェット処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-131231   出願人：株式会社スガイ

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