特許
J-GLOBAL ID：200903065191311574

研磨方法および研磨装置

発明者：
長谷川 一人

長谷川 一人 について

, 
藤田 隆

藤田 隆 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106656
公開番号（公開出願番号）：特開平9-290363
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】装置を常時モニタリングする必要がなく、研磨パッドの摩耗状態に応じて研磨パッドの交換時期を判定できる研磨方法および研磨装置を提供する。【解決手段】研磨パッドにかかる圧力が一定となるように研磨パッドの高さを制御し、研磨パッド高さの測定値と、あらかじめ設定しておいた閾値(研磨パッド使用限界高さ)とを比較して研磨パッド交換時期を判定する(ステップS7)研磨方法。研磨パッド圧力により研磨パッドの高さを制御する研磨パッド高さ制御手段と、研磨パッド高さの測定結果に基づいて研磨パッド交換指示を行う研磨パッド交換指示手段とを備える研磨装置。
請求項（抜粋）：
試料台上に保持された試料に、研磨定盤に被着された研磨パッドを押し当て、試料と研磨パッドの間に研磨剤を供給し、試料台および/または研磨定盤を回転させて試料を研磨する研磨方法であって、研磨パッドにかかる圧力が一定となるように研磨パッドの高さを制御したときの研磨パッドの高さから研磨パッドの交換時期を判定することを特徴とする研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 Z
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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