特許

J-GLOBAL ID：200903065298185733

電極装置

発明者： 大橋 玄章 ,  大橋 敏夫 ,  小林 廣道 ,  加藤 孝治
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 細田 益稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013823
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218038
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】電極装置において、電極機能部と電極装置表面との間隔を制御しやすくする。【解決手段】電極装置26は、少なくとも表面が耐蝕性材料からなる容器15と、容器15の内部空間15gに充填されている粒子からなる電極機能部17、18とを備えている。粒子の少なくとも一部が、比誘電率が12以上の誘電性材料あるいは導電性材料からなる。

請求項（抜粋）：

容器と、この容器の内部空間に充填されている粒子からなる電極機能部とを備えており、前記粒子の少なくとも一部が、導電性材料または比誘電率が12以上の誘電性材料からなることを特徴とする、電極装置。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/34 T ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/302 B

Fターム (27件)：

4K029DA01 ,  4K029DC28 ,  4K029DC35 ,  4K030FA03 ,  4K030KA05 ,  4K030KA08 ,  4K030KA14 ,  4K030KA15 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46 ,  5F004AA14 ,  5F004AA15 ,  5F004BA06 ,  5F004BA09 ,  5F004BB00 ,  5F004BB28 ,  5F004BB29 ,  5F004BB32 ,  5F045AA08 ,  5F045BB14 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB03 ,  5F045EF05 ,  5F045EH04 ,  5F045EH05 ,  5F045EH13

引用特許：

出願人引用 (4件)

• プラズマCVD法、プラズマCVD装置及び電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-053659   出願人：日新電機株式会社
• 続流防止型放電管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201827   出願人：三菱マテリアル株式会社
• セラミックス電極構造体、放電ランプおよび照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-356789   出願人：東芝ライテック株式会社
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-225154   出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (4件)

• プラズマCVD法、プラズマCVD装置及び電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-053659   出願人：日新電機株式会社
• 続流防止型放電管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201827   出願人：三菱マテリアル株式会社
• セラミックス電極構造体、放電ランプおよび照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-356789   出願人：東芝ライテック株式会社
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-225154   出願人：ジェイエスアール株式会社