特許
J-GLOBAL ID：200903028128898937

プローブカード

発明者：
柳通 直樹

柳通 直樹 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225154
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050983
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 被検査電極の表面に酸化膜を有する回路装置に対しても、所要の電気的接続を確実に達成することができるプローブカードの提供。回路装置の表面が損傷または汚染することを防止することができ、長期間にわたって良好な電気的接続状態を維持することができるプローブカードの提供。【解決手段】 検査対象回路装置と電気的検査装置との間に介在されて当該回路装置の電極の電気的検査を行うためのプローブカードであって、弾性高分子物質中に導電性粒子が充填された厚み方向に伸びる複数の導電部が、弾性高分子物質よりなる絶縁部によって相互に絶縁された状態で配置された異方導電性シートと、異方導電性シートの導電部の各々に電気的に接続された複数の突起状電極とを具え、異方導電性シートと突起状電極とは一体化されている。突起状電極の各々は、異方導電性シート上に配置された支持板によって支持されていることが好ましい。
請求項（抜粋）：
検査対象である回路装置と電気的検査装置との間に介在されて当該回路装置の電極の電気的検査を行うためのプローブカードであって、弾性高分子物質中に導電性粒子が充填された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電部が、弾性高分子物質よりなる絶縁部によって相互に絶縁された状態で配置されてなる異方導電性シートと、この異方導電性シートの導電部の各々に電気的に接続された複数の突起状電極とを具えてなり、前記異方導電性シートと前記突起状電極とが一体化されていることを特徴とするプローブカード。
IPC (4件)：
G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01R 11/01
FI (4件)：
G01R 1/073 F ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  H01R 11/01 H
Fターム (20件)：
2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG07 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G003AH07 ,  2G011AA03 ,  2G011AA12 ,  2G011AA21 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30
引用特許：
審査官引用 (6件)
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