特許
J-GLOBAL ID:200903065307340771

窒化アルミニウム単結晶の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-160809
公開番号(公開出願番号):特開2006-045047
出願日: 2005年06月01日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】実用可能性のある大きさを備えた窒化アルミニウム単結晶を、低コストで短時間に得ることができ、かつ、生産性・汎用性が高い窒化アルミニウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化アルミニウム及び/又は加熱により酸化アルミニウムに変換される酸化アルミニウム前駆体と、窒化アルミニウム及び/又は加熱により窒化アルミニウムに変換される窒化アルミニウム前駆体とを含む原料組成物を、1600〜2400°Cの温度で加熱することにより窒化アルミニウムを合成し、前記窒化アルミニウムを結晶成長させることによって窒化アルミニウム単結晶を得る窒化アルミニウム単結晶の製造方法。【選択図】なし
請求項(抜粋):
酸化アルミニウム(Al2O3)及び/又は加熱により酸化アルミニウムに変換される酸化アルミニウム前駆体と、窒化アルミニウム(AlN)及び/又は加熱により窒化アルミニウムに変換される窒化アルミニウム前駆体とを含む原料組成物を、1600〜2400°Cの温度で加熱することにより窒化アルミニウムを合成し、前記窒化アルミニウムを結晶成長させることによって窒化アルミニウム単結晶を得る窒化アルミニウム単結晶の製造方法。
IPC (4件):
C30B 29/38 ,  C01B 21/072 ,  C30B 1/10 ,  C30B 29/62
FI (5件):
C30B29/38 C ,  C01B21/072 G ,  C01B21/072 Z ,  C30B1/10 ,  C30B29/62 Q
Fターム (11件):
4G077AA02 ,  4G077AA04 ,  4G077BE13 ,  4G077CA01 ,  4G077CA04 ,  4G077CA08 ,  4G077EC02 ,  4G077JA05 ,  4G077JB02 ,  4G077JB07 ,  4G077JB12
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)
  • 窒化物単結晶及びその製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-094078   出願人:住友電気工業株式会社
  • 窒化アルミニウムウイスカーの製造法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-157206   出願人:アエロスパシアルソシエテナショナルアンデュストリエル, ブイアイエーエム-オールラシアンインスティチュートオブアビエーションマテリアルズ
  • 特開昭61-201609

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