特許
J-GLOBAL ID:200903070271006830
溶融体からの窒化アルミニウムのバルク単結晶の成長
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
社本 一夫 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-512954
公開番号(公開出願番号):特表2003-505331
出願日: 1999年07月22日
公開日(公表日): 2003年02月12日
要約:
【要約】窒化アルミニウム(AlN)の大直径単結晶が、高温で成長させられる。周囲液体アルミニウムの温度よりも低い温度に維持される種結晶(130)が、溶融体から引っ張られ、種結晶(130)上に堆積させられる。本方法を実施するための装置も、開示される。
請求項(抜粋):
下記を含んでなる、AlNのバルク単結晶を製造する方法: 窒素を液体Alの溶融体と接触させて溶融体中にAlNを形成し;一方 単結晶性形態にそのように形成されたAlNを溶融体と物理的に接触している種結晶上に堆積させる。
IPC (2件):
FI (2件):
C30B 29/38 C
, C30B 11/12
Fターム (15件):
4G077AA02
, 4G077AB09
, 4G077BE13
, 4G077CC06
, 4G077CF05
, 4G077EA04
, 4G077EG02
, 4G077EG12
, 4G077EG20
, 4G077EG22
, 4G077EH09
, 4G077PB02
, 4G077PB07
, 4G077PB09
, 4G077PB13
引用特許:
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