板状のワークの表面形状と板厚の測定方法および測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-059138
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249010
出願日： 2000年03月03日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】ワークを加工テーブルに載置した状態で表面形状や板厚を測定することができ、かつ測定精度をさらに向上させることができる板状のワークの表面形状と板厚の測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】ハーフミラー12の光反射側に凸レンズ14を、ハーフミラー12の裏側に凸レンズ17を配置する。また、受光手段18を凸レンズ17の焦点位置に配置する。ハーフミラー12で反射した平行光線による凸レンズ14の焦点がワーク1の表面または裏面に一致すると、ワーク1の表面または裏面から反射した光により受光手段18の出力がピーク値になる。そこで、受光手段18の出力を監視しながら、凸レンズ14をワーク1の板厚方向に移動させ、受光手段18の出力がピークを示す時の凸レンズ14の位置を、位置センサ16により求める。求めた移動量がワークの表面または裏面の起伏に対応し、また、表面と裏面の座標の差から板厚を求めることができる。

請求項（抜粋）：

【請求項1】凸レンズの焦点を板状のワークの表側の表面に位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズの前記ワークの板厚方向の移動量から、前記ワークの表側の表面形状を測定することを特徴とする板状のワークの表面形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 11/06

FI (2件)：

G01B 11/06 Z , G01B 11/24 A

Fターム (15件)：

2F065AA30 , 2F065AA54 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC19 , 2F065FF10 , 2F065GG06 , 2F065JJ18 , 2F065JJ22 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM07 , 2F065QQ03 , 2F065QQ29 , 2F065QQ42

引用特許：

審査官引用 (9件)

光学式非接触厚み測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-195782 出願人：精電舎電子工業株式会社
多重焦点光学系を用いた測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-304814 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭60-200108

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