特許
J-GLOBAL ID：200903065363161960
検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134249
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321035
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 パターン成分の抽出にあたって特別な閾値調整を行なう必要がなく、安定した検出性能を実現可能な検出装置を提供する。【解決手段】 計測対象物に計測光を複数段階強度で照射する事が可能な計測光照射手段10と、計測光を照射された対象物像を光電変換処理する撮像手段11と、光電変換された対象物像112をA/D変換してデジタル画像化するA/D変換手段113と、前記A/D変換されたデジタル画像114を複数蓄積することが可能なデータ蓄積手段115と、パターンを有しない計測光を複数段階強度で計測対象物に照射した複数強度全面照射画像と計測用パターンを有する計測光を計測対象物に照射したパターン照射画像を基に前記計測用パターンを検出する多値化手段116と、前記各手段を統括的にコントロールする事が可能な計測コントロール手段109を備える。
請求項（抜粋）：
計測用パターンを有する計測光を計測対象物に照射することで得られる第1の画像、及び上記計測対象物の上記第1の画像が得られる条件とは異なる条件下において得られる第2の画像それぞれの画像信号を画素毎に差分処理し、その差分結果の正負に基づいてパターン成分を抽出する多値化手段を備えた検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 K
, G06F 15/64 400 P
2F065AA51
, 2F065BB01
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065DD12
, 2F065EE04
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065HH06
, 2F065HH07
, 2F065LL41
, 2F065NN02
, 2F065NN12
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ04
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ42
, 5B047AA07
, 5B047DB01
, 5B047DC07
出願人引用 (2件)
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画像検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-034675
出願人：三菱電機株式会社
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形状計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-242031
出願人：シーケーディ株式会社, 佐藤幸男
審査官引用 (2件)
-
画像検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-034675
出願人：三菱電機株式会社
-
形状計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-242031
出願人：シーケーディ株式会社, 佐藤幸男
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