特許
J-GLOBAL ID:200903065440882838
窒化物半導体素子
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-402089
公開番号(公開出願番号):特開2002-261393
出願日: 2001年12月28日
公開日(公表日): 2002年09月13日
要約:
【要約】【課題】 Inを含む窒化物半導体を有する活性層を、p型クラッド層、n型クラッド層とで挟まれた構造を有する窒化物半導体素子、特に波長440nm以上で発光するものにおいて、しきい値電流を低減させる構造とする。【解決手段】 n型クラッド層25、p型クラッド層30と活性層12との間に、Inを含む窒化物半導体からなる第1の窒化物半導体層31、Inを含まない窒化物半導体からなる第2の窒化物半導体層32とをそれぞれ有することで、非対称な導波路構造とすることで、p型層13側にInを含む窒化物半導体を設けることによる結晶性の悪化、Inによる光の損失を第2の窒化物半導体層32を用いることで回避し、第1の窒化物半導体層31により導波路内の屈折率を大きくして、しきい値電流密度を下げる。
請求項(抜粋):
活性層を、p型層とn型層とで挟みこむ構造を有し、p型層がp型クラッド層を有し、n型層がn型クラッド層を有する窒化物半導体素子において、前記活性層がInを含む窒化物半導体を有し、n型クラッド層と活性層との間にIn混晶比がz>0である窒化物半導体からなる第1の窒化物半導体層を有し、p型クラッド層と活性層との間にIn混晶比uがz>uである第2の窒化物半導体層を有することを特徴とする窒化物半導体素子。
IPC (2件):
H01S 5/323 610
, H01L 33/00
FI (2件):
H01S 5/323 610
, H01L 33/00 C
Fターム (15件):
5F041AA11
, 5F041CA40
, 5F041CA48
, 5F041CA57
, 5F041CA65
, 5F073AA04
, 5F073AA45
, 5F073AA74
, 5F073CA07
, 5F073CB07
, 5F073CB14
, 5F073CB22
, 5F073DA05
, 5F073EA02
, 5F073EA29
引用特許: