特許
J-GLOBAL ID：200903065496348729

改良された質量分析計およびその質量フィルタ

発明者：
マリオット フィリップ

マリオット フィリップ について


出願人/特許権者：
サーモ・エレクトロン・コーポレーション

サーモ・エレクトロン・コーポレーション について


代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-504259
公開番号（公開出願番号）：特表2005-534140
出願日： 2003年05月13日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
イオンビームをフィルタリングするための質量フィルタ装置を説明する。この装置は、ビームを射出するためのイオンビーム源と、イオンビーム源からのイオンビームを受け入れる一対の第1および第2の質量フィルタ段とを備えている。真空システムが、少なくとも第2のフィルタ段を10-3torr以下の動作可能圧力に維持する。真空システムは、第1および第2のフィルタ段の双方をほぼ同一の動作圧力に維持するように構成されている。第1の質量フィルタ段は、選択した質量電荷比を部分範囲として含む質量電化比を有するイオンのみを透過させるために構成されている。第2のフィルタは、選択した質量電荷比のイオンのみを透過させるために構成されている。したがって、第2の質量フィルタは高精度の検出を達成することができ、四重極棒近傍の電界に歪をもたらすこの四重極棒上の材料の堆積等の従来技術で経験する問題にさらされることがない。第1の質量フィルタは、典型的にはイオン源から受け取ったイオンの1%を透過させる粗フィルタとして動作する。かくして、この発明を実施する質量分析計の検出精度と寿命が大きく改善される。
請求項（抜粋）：
所定の範囲内の質量/電荷比を有するイオンビームを濾波して、前記範囲内で選択された質量/電荷比のイオンを透過させるための質量フィルタ装置であって、 前記イオンビームを射出するイオンビーム源と、 該ビーム源からのビームを受け入れる一対の第1および第2の質量フィルタ段と、 少なくとも前記第2のフィルタ段を10-3トール以下の動作圧で維持する真空システムと、 を備え、 該真空システムは、前記第1および第2のフィルタ段の双方を10-3トール以下の動作圧に維持するように構成され、 該第1の質量フィルタ段は、前記選択された質量/電荷比を部分範囲として含む質量/電荷比を有するイオンのみを透過させるために構成され、 前記第2の質量フィルタは、前記選択した質量/電荷比のイオンのみを透過させるために構成されていることを特徴とする質量フィルタ装置。
IPC (2件)：
H01J49/42 ,  G01N27/62
FI (3件)：
H01J49/42 ,  G01N27/62 E ,  G01N27/62 L
Fターム (2件)：
5C038JJ06 ,  5C038JJ13
引用特許：
審査官引用 (10件)
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