特許
J-GLOBAL ID：200903065557046046
レジスト剥離液の再生回収方法及び再生回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-324092
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131932
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 レジスト成分などの非揮発性不純物、水分などの低沸点不純物などとともに、酸性ガス成分又は炭酸成分を含有する使用済レジスト剥離液から、レジスト成分、水分、酸性ガス成分又は炭酸成分などをほとんど含まないレジスト剥離液成分を効率よく回収することが可能なレジスト剥離液の再生回収方法及び再生回収装置を提供する。【解決手段】 使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液中の炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した状態で、蒸留操作を行う。また、炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した使用済レジスト剥離液を、蒸留回収工程において、連続式又は回分式に蒸留することにより、炭酸アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜残として分離する一方、蒸発ベーパを精留塔に供給し、水や溶剤などの低沸点不純分を分離してレジスト剥離液成分を回収する。
請求項（抜粋）：
モノエタノールアミンを主成分の1つとして含有するレジスト剥離液を用いてレジストの剥離除去を行った後の、使用済レジスト剥離液を再生回収する方法であって、使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分を塩として固定するアルカリ添加工程と、酸性ガス成分を塩として固定した後の使用済レジスト剥離液を蒸留することにより、レジスト剥離液成分を分離して回収する蒸留回収工程とを具備することを特徴とするレジスト剥離液の再生回収方法。
IPC (4件)：
G03F 7/42
, B01D 1/22
, B01D 3/00
, B01J 19/00
G03F 7/42
, B01D 1/22 A
, B01D 3/00 B
, B01J 19/00 B
2H096AA27
, 2H096LA02
, 2H096LA25
, 4D076AA12
, 4D076AA22
, 4D076AA24
, 4D076BA13
, 4D076BB04
, 4D076BC02
, 4D076FA31
, 4D076HA05
, 4D076JA10
, 4G075AA04
, 4G075AA13
, 4G075AA65
, 4G075CA51
, 4G075DA01
