特許
J-GLOBAL ID:200903065633664005

反射防止構造およびこの反射防止構造を有する光学部材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 吉武 賢次 ,  中村 行孝 ,  紺野 昭男 ,  横田 修孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-201866
公開番号(公開出願番号):特開2006-065302
出願日: 2005年07月11日
公開日(公表日): 2006年03月09日
要約:
【課題】 微細な凹凸形状を有する反射防止構造、およびそのような反射防止構造を有する光学部材を、安定してかつ容易かつ低コストで量産する。【解決手段】 表面に微細な凹部が形成された反射防止面を有する反射防止構造であって、 前記反射防止面を占める前記凹部の割合が、前記反射防止面の有効面積に対して10%〜90%の範囲であり、前記凹部は相互に連結されていてもよい基本形状からなり、前記基本形状が、平均深さ30nm〜200nmかつ平均直径80nm〜400nmであり、前記基本形状の前記反射防止面における配置が実質的に不規則であることを特徴とする反射防止構造、そのような反射防止構造を有する光学部材、この反射防止構造を形成するための原型、その製造方法、および複製用型の製造方法。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
表面に微細な凹部が形成された反射防止面を有する反射防止構造であって、 前記反射防止面を占める前記凹部の割合が、前記反射防止面の有効面積に対して10%〜90%の範囲であり、 前記凹部は相互に連結されていてもよい基本形状からなり、前記基本形状が、平均深さ30nm〜200nmかつ平均直径80nm〜400nmであり、前記基本形状の前記反射防止面における配置が実質的に不規則であることを特徴とする、反射防止構造。
IPC (2件):
G02B 1/11 ,  H01L 31/04
FI (2件):
G02B1/10 A ,  H01L31/04 F
Fターム (8件):
2H091FA37 ,  2H091LA17 ,  2K009AA12 ,  2K009CC09 ,  2K009CC24 ,  2K009DD15 ,  5F051HA02 ,  5F051HA07
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (7件)
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