処理装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-060606
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243127
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】予備室内を簡素化した処理装置を提供する。【解決手段】ゲート弁5を開け、材料搬送機構8によりステージ2上の処理済み材料を、材料面に垂直な軸を回転軸とした回転方向の向きを変えずにそのままの状態で取り出して予備室6内に持って来る。ゲート弁5を閉じ、排気バルブ15を閉じ、予備室6内を大気圧に近い状態にリークする。ゲート弁7を開け、材料搬送機構8により処理済み材料をバーコード読み取り機31直下の読み取り位置で一時停止させる。バーコード読み取り機31にて処理済み材料のバーコードを読み取る。読み取られたバーコード信号は制御装置14内のメモリに材料の工番として記憶される。材料搬送機構8により処理済み材料は材料カセット17の所定の箇所に運ばれる。

請求項（抜粋）：

一部分に標識が付された被処理材料が載置されるステージを備えた処理室、被処理材料の位置合わせを行う位置合わせ機構を備えた予備室、及び、外部と予備室との間,該予備室と処理室との間でそれぞれ被処理材料の搬送を行う材料搬送機構を備えた処理装置において、前記予備室の外部に標識読み取り機を設けたことを特徴とする処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 541 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-222128 出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
搬送装置および搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-045061 出願人：株式会社荏原製作所
物流管理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-310426 出願人：株式会社日立製作所

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