特許
J-GLOBAL ID：200903065799157365

検査装置及び検査方法、並びにパターン基板の製造方法

発明者：
楠瀬 治彦

楠瀬 治彦 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-024108
公開番号（公開出願番号）：特開2008-190938
出願日： 2007年02月02日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：
【課題】正確な検査を短時間で行うことができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、フォトマスク33を透過した透過光とフォトマスク33で反射した反射光とを用いて検査を行う検査装置1であって、レンズ32の視野60の一部である同時照明領域62を、フォトマスク33のレンズ32側から照明する反射照明光源21と、同時照明領域62と同時照明領域62以外の透過照明領域61とを照明する透過照明光学系10と、同時照明領域62からの透過光と反射光とを、レンズ32を介して検出する合成像用センサ44と、透過照明領域61からの透過光を、レンズ32を介して検出する透過像用センサ43とを備えるものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料を透過した透過光と前記試料で反射した反射光とを用いて検査を行う検査装置であって、 対物レンズと、 前記対物レンズの視野の一部である第1の領域を、前記試料の対物レンズ側から照明する反射照明光学系と、 前記第1の領域と前記対物レンズの視野内において前記第1の領域以外の第2の領域とを、前記試料の対物レンズ側の反対側から照明する透過照明光学系と、 前記透過照明光学系からの透過照明光、及び前記反射照明光学系からの反射照明光の前記試料上の位置を調整する調整手段と、 前記第1の領域において、前記透過照明光学系からの透過照明光のうち前記試料を透過した透過光と前記反射照明光学系からの反射照明光のうち前記試料で反射した反射光とを前記対物レンズを介して検出する第1検出器と、 前記第2の領域において、前記透過照明光学系からの光のうち、前記透過照明光学系からの光のうち前記試料を透過した透過光を、前記対物レンズを介して検出する第2検出器と、を備える検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  G03F 1/08
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/24 K ,  G03F1/08 S
Fターム (39件)：
2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065DD12 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065SS04 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA15 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2H095BD05 ,  2H095BD12 ,  2H095BD15 ,  2H095BD20 ,  2H095BD24
引用特許：
出願人引用 (3件)

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