特許
J-GLOBAL ID：200903065823946899
荷電粒子ビーム描画装置、パターンの寸法誤差補正装置及びパターンの寸法誤差補正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松山 允之
, 池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-031637
公開番号（公開出願番号）：特開2009-194062
出願日： 2008年02月13日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：
【目的】ローディング効果の寸法補正での誤差をより小さくすることが可能な装置を提供する。【構成】リサイズ装置300は、メッシュ領域内の第1の寸法のパターンが占める第1の面積密度を算出する面積密度算出部10と、第1の面積密度に基づいて、ローディング効果により生じる第1の寸法誤差を算出する寸法誤差算出部12と、第1の寸法誤差が補正された第2の寸法を算出する寸法算出部14と、第2の寸法のパターンが占める第2の面積密度を算出する面積密度算出部16と、第2の面積密度に基づいて、ローディング効果により生じる第2の寸法誤差を算出する寸法誤差算出部18と、第2の寸法に第2の寸法誤差を加算した第3の寸法を算出する寸法算出部20と、第1の寸法と第3の寸法との差分が許容範囲内かどうかを判定する判定部22と、差分が許容範囲内に入る第2の寸法のパターンを出力するリサイズ処理部26と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の領域内の第1の寸法のパターンが占める第1の面積密度を算出する第1の面積密度算出部と、
前記第1の面積密度に基づいて、ローディング効果により生じる第1の寸法誤差を算出する第1の寸法誤差算出部と、
前記第1の寸法から前記第1の寸法誤差が補正されたパターンの第2の寸法を算出する第1の寸法算出部と、
前記所定の領域内の第2の寸法のパターンが占める第2の面積密度を算出する第2の面積密度算出部と、
前記第2の面積密度に基づいて、ローディング効果により生じる第2の寸法誤差を算出する第2の寸法誤差算出部と、
前記第2の寸法に前記第2の寸法誤差を加算した第3の寸法を算出する第2の寸法算出部と、
前記第1の寸法と前記第3の寸法との差分が所定の範囲内かどうかを判定する判定部と、
荷電粒子ビームを用いて、試料に、前記差分が前記所定の範囲内に入る前記第2の寸法のパターンを描画する描画部と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5F056AA04
, 5F056CA13
, 5F056CC11
, 5F056CD09
, 5F056CD20
