平面体の搬送機構および薄膜形成装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：振角正一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343680
公開番号（公開出願番号）：特開2003-152050
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】シートフィルムや基板などの平面体に対してダメージを与えることなく吸着保持しながら該平面体を良好に搬送することができる搬送機構、ならびに該搬送機構を備えた薄膜形成装置を提供する。【解決手段】ハンド本体22の下面側には、シートフィルムFの周縁部を臨むようにリング溝23が形成され、さらに該リング溝23に多孔質材料で形成された多孔質部材24が圧入されている。また、このハンド本体22の上面部には、排気ポート26が取り付けられており、この排気ポート26を介してリング溝23の内部空間と排気ブロア27とが相互に連通されている。このため、排気ブロア27が作動すると、リング溝24内を排気する。その結果、多孔質部材24と当接するシートフィルムFの周縁部25が、多孔質部材24を介して周縁部25に負圧がかかり、吸着ハンド21によりシートフィルムFが吸着保持される。

請求項（抜粋）：

平面体の一方主面の一部または全部を吸着領域とし、その吸着領域を吸着保持しながら、前記平面体を搬送する搬送機構において、多孔質材料で形成された多孔質部材を前記吸着領域に当接可能となっている吸着ハンドと、前記多孔質部材を介して前記吸着領域に負圧を与える負圧手段とを備えることを特徴とする平面体の搬送機構。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B25J 15/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/31

FI (5件)：

H01L 21/68 B , B25J 15/06 G , B65G 49/06 A , B65G 49/07 G , H01L 21/31 A

Fターム (31件)：

3C007AS06 , 3C007AS24 , 3C007BS06 , 3C007BS26 , 3C007CT02 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007CV03 , 3C007DS01 , 3C007FS01 , 3C007FT07 , 3C007FT08 , 3C007FT12 , 3C007NS09 , 3C007NS10 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA09 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA05 , 5F031FA07 , 5F031GA24 , 5F031GA25 , 5F031GA26 , 5F031GA32 , 5F031PA13 , 5F031PA18 , 5F031PA20 , 5F045EN04 , 5F045EN10

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭64-010643
ダイシングシート吸着治具
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-316006 出願人：ソニー株式会社
特開平3-217042

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