透明導電膜用ターゲットおよび透明導電ガラスならびに透明導電フィルム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東平正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251200
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072526
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】透明性が高くかつ導電性に優れるとともに、従来のITO膜よりも仕事関数が高くて、有機エレクトロルミネッセンス素子などの電極に用いたときに正孔の注入効率がよく、長期間にわたり安定した発光状態を維持することのできる透明導電ガラスや透明導電フィルムを提供すること。【解決手段】酸化インジウムまたは酸化インジウムと酸化亜鉛および/または酸化錫からなる基本的構成成分に、酸化ルテニウム、酸化モリブデン、酸化バナジウムのいずれかを添加成分として特定割合で混合してなる組成物の焼結体と、該焼結体からなるターゲット、および該ターゲットを用いて成膜して得られる透明導電ガラスならびに透明導電フィルム。

請求項（抜粋）：

酸化インジウムまたは酸化インジウムと酸化亜鉛および/または酸化錫を、それらの金属原子比において、In/(In+Zn+Sn)=0.80〜1.00Zn/(In+Zn+Sn)=0.00〜0.20Sn/(In+Zn+Sn)=0.00〜0.20の割合で含有し、かつ全金属原子に対して0.5〜10原子%の含有率で酸化ルテニウム、酸化モリブデンおよび酸化バナジウムから選択される金属酸化物を含有する組成物からなる焼結体。

IPC (6件)：

C04B 35/00 , B32B 9/00 , C03C 17/245 , C23C 14/08 , C23C 14/34 , H01B 13/00 503

FI (6件)：

C04B 35/00 Z , B32B 9/00 A , C03C 17/245 A , C23C 14/08 D , C23C 14/34 A , H01B 13/00 503 B

Fターム (51件)：

4F100AA17A , 4F100AA25A , 4F100AA28A , 4F100AG00B , 4F100AK25B , 4F100AK41B , 4F100AK43B , 4F100AK45B , 4F100AK54B , 4F100AK55B , 4F100BA02 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100EJ48A , 4F100GB90 , 4F100JG00 , 4F100JG01A , 4F100JG04 , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4F100YY00 , 4F100YY00A , 4G030AA10 , 4G030AA23 , 4G030AA26 , 4G030AA32 , 4G030AA34 , 4G030AA39 , 4G030BA02 , 4G030BA15 , 4G030CA08 , 4G059AA08 , 4G059AC14 , 4G059EA03 , 4G059EB04 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029AA25 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029DA08 , 4K029DC05 , 4K029DC09 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 5G323BA02 , 5G323BB04 , 5G323BB05

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭59-163707
特開昭59-204625
特開平3-078907

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