走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-321036
公開番号（公開出願番号）：特開2005-093106
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】磁性体試料表面の磁化分布を高倍率で観察できる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明の走査電子顕微鏡は、電子源17と、磁界レンズ7を含んで構成され磁界レンズ7の磁界中に設置された試料6に電子源から放出される電子線を収束させて照射する電子線収束手段7、21、22と、電子線を試料6上に2次元走査する電子線走査手段23と、試料6から放出される2次電子を電子線の逆方向に導いて結像させる2次電子光学系8と、2次電子光学系により導かれた2次電子のスピン偏極度を検出する検出手段30とを備え、2次電子のスピン方向の分散を極力抑えて2次電子をスピン偏極度の検出手段30へ導くことにより、磁性体試料表面の磁化分布を高倍率で観察するようにしたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子源と、磁界レンズを含んで構成され前記磁界レンズの磁界中に設置された試料に前記電子源から放出される電子線を収束させて照射する電子線収束手段と、前記電子線を前記試料上に2次元走査する電子線走査手段と、前記試料から放出される2次電子を前記電子線の逆方向に導いて結像させる2次電子光学系と、該2次電子光学系により導かれた2次電子のスピン偏極度を検出する検出手段とを備えてなる走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J37/256 , H01J37/244 , H01J37/28

FI (3件)：

H01J37/256 , H01J37/244 , H01J37/28 B

Fターム (6件)：

5C033NN01 , 5C033NP01 , 5C033NP05 , 5C033NP08 , 5C033UU02 , 5C033UU04

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公平6-46556
住所情報作成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-242942 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (1件)

荷電粒子線顕微方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-362129 出願人：株式会社日立製作所

引用文献：

審査官引用 (4件)

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