特許
J-GLOBAL ID：200903065963759312

プローブカード

発明者：
長谷川 義栄

長谷川 義栄 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287073
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108708
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【目的】 針先の位置を安定化させると共に、プローブの配置ピッチを小さくすること【解決手段】 プローブカードは、基板と、針先部がこれの後端に続く針主体部に対して曲げられた複数のプローブを針先がほぼ直線状の配列となる状態に基板に配置し、プローブの針先部が変位可能に貫通した複数のガイド穴を有するシート状のガイドを針主体部の下側を伸びるように基板に配置し、ガイドを配置手段により張った状態に維持している。張った状態のガイドは、吊り下げた状態のガイドに比べ、ガイド自体がプローブに対し変位し難く、したがって被検査体の電極に対するプローブの針先の位置が安定すると共に、プローブの配置ピッチを小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、針先部がこれの後端に続く針主体部に対して曲げられた複数のプローブであって針先がほぼ直線状の配列となる状態に前記基板に配置された複数のプローブと、前記プローブの針先部が変位可能に貫通した複数のガイド穴を有しかつ前記針主体部に対し前記基板と反対側を伸びるシート状のガイドと、該ガイドを前記基板に張った状態に配置する配置手段とを含む、プローブカード。
IPC (2件)：
G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B
Fターム (14件)：
2G011AA17 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AE22 ,  4M106AA02 ,  4M106AA20 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10
引用特許：
審査官引用 (3件)

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