X線像の画像処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蛭川昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-041142
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240738
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】先鋭化処理を施し、かつノイズの増幅は抑え、電子線の散乱によるX線像の滲みを軽減する。【解決手段】電子線を照射した試料から発生する特性X線を検出して得られるX線像に対する画像処理方法において、電子線の試料中での広がりに電子ビームの太さを加えてX線信号の発生領域を算出し、算出したX線の発生領域に対して先鋭化処理を施すようにしたものである。

請求項（抜粋）：

電子線を照射した試料から発生する特性X線を検出して得られるX線像に対する画像処理方法において、電子線の試料中での広がりに電子ビームの太さを加えてX線信号の発生領域を算出し、算出したX線の発生領域に対して先鋭化処理を施すことを特徴とするX線像の画像処理方法。

IPC (4件)：

G01N 23/225 , G06T 5/20 , H01J 37/22 502 , H01J 37/252

FI (4件)：

G01N 23/225 , G06T 5/20 B , H01J 37/22 502 H , H01J 37/252 A

Fターム (27件)：

2G001AA03 , 2G001CA01 , 2G001EA01 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001FA14 , 2G001FA29 , 2G001FA30 , 2G001GA04 , 2G001GA05 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001PA11 , 2G001PA14 , 5B057AA08 , 5B057BA03 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CE03 , 5C033PP06

引用特許：

審査官引用 (5件)

分析位置決定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-154646 出願人：日本電子株式会社
特開昭64-035838
特開平4-329778

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